10月21日召開的科創板上市委第35次審議會議同意沈陽芯源微電子設備股份有限公司(簡稱“芯源微”)首發上市。

招股說明書顯示，芯源微主要從事半導體專用設備的研發、生產和銷售，產品包括光刻工序涂膠顯影設備和單片式濕法設備，產品可用于6英寸及以下單晶圓處理及8/12英寸單晶圓處理。

作為與光刻機配合進行作業的關鍵處理設備，芯源微生產的涂膠/顯影機成功打破國外廠商壟斷并填補國內空白，其中在LED芯片制造及集成電路制造后道先進封裝等環節，作為國內廠商主流機型已成功實現進口替代。

公司成功突破了應用于集成電路制造前道晶圓加工環節的涂膠顯影設備技術，成型產品目前正在長江存儲、上海華力等前道芯片制造廠商進行工藝驗證。

值得一提的是，自2008年我國啟動實施“02重大專項”以來，芯源微作為項目責任單位承擔并完成了兩項與所處涂膠顯影設備領域相關的“02重大專項”項目，分別是“凸點封裝涂膠顯影、單片濕法刻蝕設備的開發與產業化”項目和“300mm 晶圓勻膠顯影設備研發”項目，成功突破了多項核心關鍵技術，開發出國產涂膠顯影設備并實現量產，成功打破國外廠商壟斷，大大降低了國內客戶采購成本和對國外設備的依賴。

截至2019年3月31日，芯源微已獲得專利授權145項，其中發明專利127項，實用新型專利6項，外觀設計專利11項；擁有軟件著作權37項。

同時，公司也是國家集成電路產業技術創新聯盟及集成電路封測產業鏈技術創新戰略聯盟理事單位，并先后主持制定了噴膠機、涂膠機兩項行業標準。

在產品銷售上，公司產品已實現批量銷售。

截至2019年3月31日，已累計銷售680余臺套，目前作為主流機型已成功打入包括臺積電、長電科技、華天科技、通富微電、晶方科技、華燦光電、乾照光電、澳洋順昌等在內的多家國內知名一線大廠。

（原標題：芯源微科創板上市首發獲通過） (責任編輯：DF378)。